دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده مدل DST3، اسپاترینگ سه کاتده

دستگاه لایه نشانی اسپاترینگ سه کاتده مدل DST3، اسپاترینگ سه کاتده

دستگاه اسپاترینگ DST3, یک سیستم لایه نشانی در خلاء به روش اسپاترینگ (کند و پاش) با محفظه شیشه ای و پمپ توربومولکولار می باشد.